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[ 来自:不详  阅读:   时间:2012.12.12 ]
MEMS传感器冉冉走向低功耗、集成化

  MEMS的技术生长趋向紧张表如今以下几个方面:第一,微型化的同时飞扬功耗。第二,微型化的同时提高精度。第三,集成化及痴顽化趋向。
  
  如今,MEMS传感器紧张运用在汽车、医疗和斲丧电子三大范围。
  
  运用三大范围汽车、医疗、斲丧电子
  
  汽车财富是传感器的一个告急运用范围。每台汽车会有40到上百个传感器,而汽车痴顽化的生长趋向也将促进汽车市场对传感器的需求。其运用方向和市场需求包括车辆的防抱逝世体系(ABS)、电子车身坚定步伐(ESP)、电控悬挂(ECS)、电入手刹(EPB)、斜坡起动帮助(HAS)、胎压监控(EPMS)、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等等。此中电子车身坚定步伐ESP失失众MEMS厂商的高度存眷。由于其自动防滑结果要求更多的传感器和先辈的处置处分体系,因此将倡议汽车电子MEMS传统运用市场的需求。
  
  随着人口老龄化和中国医疗保健体系的健全,种种远距离监护和高精度治疗配置将越来越多地被引入。医疗保健市场冉冉成为MEMS传感器运用的又一大市场。MEMS具有微型的特点,可以改换器官植入、微量检测,紧张的生长方向是血管内手术和颅内手术以及细胞手术。
  
  MEMS传感器在斲丧电子范围中紧张运用于活动/坠落检测、导航数据补偿、游戏/人机界面、电源料理、GPS增强/盲区消弭、速率/距离计数、其他体育和保健运用等等。这些MEMS技术都在很大水平上提高了用户体验,并带来了全新的电子斲丧产品。此中加快度计是该市场中第一大运用产品。而近期陀螺仪增长机动,曾经成为继加快度计后的第二大运用产品。
  
  MEMS麦克风近来几年不相对峙着很高的增长率。以智能手机、平板电脑和超等本为代表,斲丧电子市场的飞速生长极大地推进着MEMS麦克风产品的需求和生长。Yole Developpement的阐发数据表现:2010年~2016年,MEMS麦克风市场总体出货量将对峙23%的水平;据预测,MEMS麦克风出货量2013年将抵达10亿颗,2016年将接近20亿颗。从细致运用市场来看,在MEMS麦克风运用最为普及的手机终端市场中,2016年MEMS麦克风的出货量将接近市场总量的一半。
  
  撤除以上三个范围,在财富范围中,MEMS也有很多的运用。小体积、低资源的MEMS传感器越来越多地用在种种呆板振动监测上,它可以用来监测马达、轴承等的振动,从而完成预见性维护;运用MEMS加快度计完成的倾角仪也被普及用在种种财富丈量配置上;另有遥控直升机的伺服体系、两轮车的平衡体系、天线坚定平台等。
  

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  技术三个方向低功耗、高精度、智能化
  
  从未来的生长趋向上看,MEMS技术紧张表如今以下几个方面:第一,微型化的同时飞扬功耗,将会出现微米致使纳米级别的微型器件,同时飞扬功耗;第二,微型化的同时提高精度,将MEMS加快度计做到石英加快度计的噪声特性,包管MEMS陀螺仪小体积的同时失失光纤陀螺仪的零偏坚定性;第三,集成化及痴顽化趋向,即MEMS与IC的集成制造技术及多参量MEMS传感器的集成制造技术失失生长,以及在集成化底子上使得信号检测具有一定的智能。这些趋向要求半导体厂商提供更高精度、坚定性更好、更智能的高集成度MEMS传感器模块。基于此,ADI延续将重点放在开拓MEMS传感器的中心技术上,以提供最好的财富级加快度计和陀螺仪。同时,ADI还将延续提供更多高集成度的MEMS传感器,以顺应差异市场的需求。


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